晶體方位測量設(shè)備的特點：

1.實現(xiàn)角度測量的高精度化
根據(jù)獨自的測角系統(tǒng)，實現(xiàn)高再現(xiàn)性和線性。
2.長期穩(wěn)定性能
機(jī)構(gòu)部具有很高的剛性和耐久性，能夠長期維持穩(wěn)定的性能。
3.采用X射線檔案峰值檢測功能
根據(jù)統(tǒng)計處理技術(shù)，采用X射線檔案峰值檢測方式，可獲得高精度穩(wěn)定的角度測量性能。
4.高速、高精度測量
不僅有4方位測量功能，還有2方位測量功能，測量時間只需要4方位測量的1/2。(不包括SU-001)
方位測量是用球面幾何學(xué)精確求解結(jié)晶方位的X,Y傾斜度。為此以和4方位測定相同的精度求出。
5.X射線劑量測定系統(tǒng)
X射線量測定系統(tǒng)通過脈沖海分析儀降低散射等誤差原因，篩選出Cu的特性X射線，可進(jìn)行高精度的測定。
6.采用高靈敏度檢測器(可支持偏移角大的結(jié)晶)
檢測器對應(yīng)檢測的X射線(Cu的K α)具有高靈敏度。另外，由于是氣體檢測器，所以對X射線的入射位置和方向的檢測靈敏度的變動很小，對于結(jié)晶面的傾斜角的變化可以進(jìn)行穩(wěn)定的測量。

晶體方位測量設(shè)備的參數(shù)：